クリーンルーム用語集

・アウトガス
　クリーンルーム内の素材が変質し、ガスを放出する現象。

・圧力損失
　エアフィルタなどの上流側と下流側の圧力差。

・イオナイザ　(除電装置)
　放電により、正イオン、負イオンを発生させ、静電気を中和する装置。

・一方向流
　清浄な空気が一方向に流れること。

・インダストリアルクリーンルーム
　工業製品の製造工程で、浮遊微小粒子が管理されたクリーンルーム。

・エアロック
　出入り口にスペースを設け、内外にそれぞれ扉を設け、同時には開かないようにして与圧を保つこと。

・オートクレーブ
　高圧蒸気滅菌装置　121℃、15～20分で滅菌する。

・汚染源
　汚染の原因となるもの、人体、衣服、梱包材、工具、機械類、空気、水、ガスなど。

・汚染負荷量
　単位時間内に空気清浄装置に流入する汚染物質の量。

・拡散
　高い濃度の位置から低い濃度の位置へ粒子が移動すること。

・換気回数
　一時間あたり空気が入れ替わる回数。
　例えば100m³の容積の部屋に6,000m³の空気を給気した場合、換気回数は60回/時となる。
　必要な換気設備(ファンフィルタユニット)の例
　20m³/分の換気能力の機器5台=20m³×60分×5台=6,000m³

・管理清浄度
　クリーンルーム稼働中に要求される空気清浄度。

・キャリア
　汚染物質を運んでくる媒体。

・キャリブレーション
　クリーンルームが空気清浄度、温湿度、給気量、空気圧力などの目標値、設計値を満足しているか、実際に測定して検証すること。

・凝集
　粒子が衝突、結合してより大きな粒子になること。

・凝縮
　露点以下になった蒸気やガスが液体粒子にーになること。

・気流速度一様性
　各測定点での気流の平均風速のばらつきの程度。

・気流平行性
　一方向流での気流方向のばらつき角度の程度。

・金属フューム
　金属を精製する過程などで空気中に浮遊する粒子。揮発したガス状の物質が凝縮してできる霧状物。

・クリーンベンチ
　粉塵が中に入りにくくしてある装置。その中で粉塵や微生物の混入が少ない作業ができる。

・ケミカルハザード
　有害化学物質、発がん物質、環境ホルモンなど人体に障害を与える危険物。

・交差汚染
　清浄度の違うものが移動することにより生じる汚染。

・コンタミネーション
　汚染されること。異物、化学物質、細菌など不要な物が成果品などに混入すること。

・コンタミネーションコントロール
　空間、汚染物の表面、内部、周辺に要求される清浄度を保持するため、計画をたてて、組織し、管理を実施していくこと。

・サブミクロン粒子
　微小粒子のなかで、0.1～1㎛以下の粒子。

・収着
　ガスや流体が個体に接触して付着と同時に個体に入り込み均質な混合物となること。

・純水
　不純物の少ない高純度の水。

・清浄度
　汚染が少ない状態を定量化した数値。一定の容積に含まれる汚染物の大きさと数で示す。

・清浄度回復能
　クリーンルーム内に最大量の汚染物質が発生してから、清浄度が規定のレベルに戻るまでの必要時間。

・清浄度クラス
　粒子の大きさ別に粒子の数量を規定し、等級付けした基準。

・繊維状粒子
　幅の10倍以上の長さのある粒子。

・粗大粒子
　粒径が2㎛～100㎛くらいの粒子。

・超純水製造装置
　水道水などの不純物をイオン交換樹脂、逆浸透膜、限外濾過膜、紫外線酸化などで精製し、高純度の純水を製造する設備。

・超微粒子
　粒径が1nm～100nmくらいの粒子。
　
・低剥離
　衝撃、摩擦による発塵が少ないこと。

・トンネルユニット
　トンネル状のクリーンルーム。

・バイオハザード施設
　危険度の高い生物を使った実験などに使用される部屋。P1、P2、P3、P4のレベルがあり、P4が一番ハイレベル。

・バイオロジカルクリーンルーム
　バイオテクノロジー分野で、浮遊微生物濃度が管理されたクリーンルーム。

・バリデーション（validation）
　クリーンルームの清浄度や風速、風圧、温湿度などを測定し、性能を評価、実証すること。

・微小粒子　(微粒子)
　粒径が2㎛以下の粒子。気体中に浮遊しており沈降しにくい。

・被膜汚染
　対象物の表面が汚染物質で覆われている状態。

・表面汚染
　対象物の表面に汚染物質がある状態。

・防爆
　可燃性ガスや可燃性液体の蒸気がある状況での爆発を防止すること。

・ミスト
　気体に浮遊している液体粒子。

・無塵衣　(クリーンスーツ)
　表面に微粒子が付着しにくく、粉塵が発生しにくい作業着。クリーンルームの性能応じてさまざまな種類のものがある。

・誘引漏れ
　クリーンルーム周囲の間仕切りの継ぎ目やフィルタの接合部などから誘引された外気によって、クリーンルーム内に塵埃が侵入すること。

・ユーティリティ設備
　電気、水、ガスなどのクリーンルームの運転に必要なものを供給する設備。

・陽圧
クリーンルームは多くの場合、塵埃の侵入を防ぐため室内の空気圧力を高く保っている。これを陽圧 (正圧)という。
クリーンルームが並んで複数ある場合、一番清浄度の高いクリーンルームの空気圧力を一番高くするように設定する。室間の圧力差は5～12.5パスカル程度。クリーンルーム内の有害物質を外に出さないようにクリーンルームを陰圧 (負圧)に保つ場合もある。

・粒径
　粒子の大きさ。クリーンルームの空気清浄度測定に用いるパーティクルカウンターの場合、粒子からの散乱光量の等しい試験粒子の直径で示される。

・粒子
　大きさを測定できる粒状の個体や液体物質。パーティクルとも言う。
　
・粒子捕獲率
　エアフィルタなどの粒子を捕集する効率。上流側と下流側との粒子濃度の差。単位は%で示すことが多い。

・粒子保持容量
　エアフィルタなどが圧力損失、もしくは粒子捕獲率の規定値が保持できる最終時期までに、エアフィルタが捕集した粒子の質量。

・リントフリー
　繊維が脱落しにくい繊維。

・GMP
　医薬品、医療用具などの製造管理、品質管理に関する規則。

・HACCP
　ハサップ、ハシップ、危害要因分析重要管理点
　食品などの重要な製造工程を監視して、安全性を保障する衛生管理方法。

・HVAC
　Heating Ventiration Air Conditioning の略称。
　暖房、換気および空調 (温湿度、気流を整える)。

・SOP
　標準操作手順書。